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第一百一十七章 11N多晶硅正式出炉!

第一百一十七章 11N多晶硅正式出炉! (第2/2页)

话音刚落。
  
  陈星眼神闪过抹疑惑,虚心请教道:“掺杂?单晶硅不是要保持硅的纯度吗?”
  
  当初魏华就和他说过,硅石提纯就是去除杂质,然后多次提纯,让硅片无限接近零杂质,为什么现在反而需要掺杂了?
  
  “总裁你先等会。”
  
  魏华可不懂熔炼掺杂,他只是个提纯人才,不过他不懂,不代表别人不懂。
  
  他连忙一路小跑,把金色品质掺杂人才翟勇带到陈星面前道:“翟工你和总裁解释解释,为什么半导体硅片生产需要掺杂。”
  
  “咳咳。”
  
  翟勇干咳两声,看向陈星耐心讲解道:“这个掺杂和普通的杂质不同,我们去除的杂质,一般是三氯化铁、三氯化铝、四氯化硅,也就是铁铝元素,而掺杂则是磷、硼、锑、砷等物质……”
  
  “先说磷吧,它是一种五价掺杂物,通常用于N型(负型)硅晶体的制备,磷掺杂可以引入额外的自由电子,从而增加硅的导电性。”
  
  “而硼则是一种三价掺杂物,通常用于P型(IE型)硅晶体的制备。硼掺杂引入额外的空穴(电子缺陷),从而增加硅的电子空穴导电性。”
  
  “还有锑和砷都是五价掺杂物,可用于N型硅晶体的制备,与磷效果差不多。”
  
  “原来如此。”
  
  陈星微微颔首,恍然大悟。
  
  怪不得,沪硅集团搞不出12寸半导体硅片,很有可能就是不懂掺杂技术。
  
  半导体芯片生产环节,真的就是没有哪个步骤简单的,全部都需要技术的积累。
  
  硅石到硅锭,硅锭到多晶硅,多晶硅到掺杂,掺杂之后就是提拉单晶硅棒了。
  
  每一步都有可能出错,每一步是需要攻克的难关,幸好陈星这边最不缺的就是技术。
  
  在翟勇讲解完熔炼掺杂后,韩铭也检测完多晶硅纯度,兴奋二字写满了他整张脸。
  
  “哈哈哈,11N的纯度,这块多晶硅纯度是11N,我们第一次就弄出了11N纯度的多晶硅!”
  
  他拿着那半块多晶硅,有些疯癫地来到陈星面前。
  
  11N纯度,这就意味着这块多晶硅的纯度是99.999999999%,足足11个9!
  
  多晶硅11N,同时也意味着单晶硅也会11N,只要他们能顺利熔炼生产出来。
  
  这就相当于打基础,多晶硅品质不过关的话,那单晶硅的品质肯定不会过关,因为下一步就是熔炼掺杂,后续也没有提纯环节了,现在多晶硅纯度多少,生产出来的单晶硅片纯度就是多少。
  
  “真是11N?”
  
  陈星心中一喜,连忙询问道。
  
  11N的多晶硅已经产出,那距离11N单晶硅产出还远吗?
  
  亦或者说!
  
  距离半导体硅片还远吗?
  
  “千真万确!”
  
  韩铭眼神难掩兴奋,重重点头再次确认道。
  
  下一秒。
  
  周围的工程师们也兴奋了。
  
  “哈哈哈,好!!!”
  
  “11N多晶硅生产出来,下一步就是熔炼掺杂了,然后再提拉单晶硅棒,距离我们的半导体硅片又近了一步啊!”
  
  “魏工韩工太牛了,提纯技术真的没得说,牛逼!”
  
  “11N的多晶硅纯度,那就代表了11N是单晶硅纯度,现在就等熔炼掺杂了!”
  
  “上天眷顾啊!”
  
  “下面就看翟工的掺杂了!”
  
  这里的都是硅业人才,他们都知道生产步骤,就是不了解具体的操作方法。
  
  既然涉及熔炼掺杂,翟勇也自然当仁不让。
  
  他向前一步,请示道:“总裁,现在11N多晶硅已经生产出来,是否立马熔炼掺杂?”
  
  “立马掺杂!”
  
  陈星给予肯定答复。
  
  12寸半导体硅片越快生产出来越好,只有原材料解决,才能正式摆脱材料的进口依赖。
  
  随着陈星一声令下,翟勇提高数倍音量招呼道:“兄弟们,把多晶硅棒放入石英坩埚,我们用提拉法进行取出单晶硅棒!”
  
  目前主流取出单晶硅的方法是提拉法,也叫柴可拉斯基法和直拉法。
  
  当然了。
  
  还有一种浮带法,也叫区域熔炼法。
  
  不过提拉法的好处是,可以直接在石英坩埚掺杂,效果也会比浮带法好。
  
  既然确定了下一步方法,蓝色品质的工人们也信心十足,纷纷高声回应。
  
  “开干开干!”
  
  “注意硅棒转移要小心,不要掉落地面了!”
  
  “打起精神打起精神!”
  
  没有人敢懈怠,他们操控设备夹住多晶硅棒,缓慢地将它放入石英坩埚里。
  
  石英坩埚熔炼炉,它内部是长条状,约莫七米,可以完美容纳多晶硅棒进行熔炼。
  
  而石英的熔点是1700度,硅的熔点是1400度,这里只需要加热到1450度就可以保持。
  
  随着石英坩埚的温度上升,多晶硅棒也逐渐融化,由固态转变了液态。
  
  这时,翟勇开始亲自掺杂,按照预想的比例,添加磷,增加硅的导电性。
  
  熔炼与掺杂的过程一直持续了数小时,这就好像熬汤,厨师在不停下佐料。
  
  哪怕时间已经凌晨了,陈星也没有丝毫困倦,反而越来越精神,身旁的韩铭不停讲解道:
  
  “现在翟工还在调配硅溶液,因为是从零开始,我们需要先拉数条晶种上来,晶种简单来说就是细棒子,用它来拉大棒子。”
  
  果不其然。
  
  下半夜时,大尺寸硅棒人才杨烈接管工作。
  
  他先是用小石英坩埚,装了一些融化硅液体倒入磨具,冷却制作提拉用的晶种。
  
  清晨时分,细小的晶种制作完成,炉内温度略微调低,放入制作好的晶种。
  
  当它浸入硅溶液时,因为热冲击的缘故,晶体发生高频次的滑移位错,杨烈没有半刻迟疑,立马操控机器旋转提拉。
  
  在高速提拉10CM后,他立马放缓提拉速度。
  
  陈星很清楚,以金色品质人才的能力,这绝对不是失误,可能是生产大尺寸硅棒的关键。
  
  调制旋转方向。
  
  设定提拉速度。
  
  杨烈在调试好设备参数,立马来到陈星面前道:
  
  “总裁要不先去休息,因为我们要做的是12寸硅片,硅棒尺寸就要在14寸,目前速度去估算的话,距离硅棒完全产出,可能需要提拉八个小时左右!”
  
  “不用,我想亲眼见证。”
  
  陈星摇了摇头。
  
  区区八个小时,他等得起。
  
  这根大硅棒的诞生,直接关乎到龙芯国际这颗暗子能否继续隐藏,他又如何可以睡得着?
  
  如果12寸半导体硅片问世,芯片国产之路就又迈进了一步,硅片将不再依赖进口。
  
  想要实现12寸半导体硅片国产化,就看这根正在提拉的大硅棒子品质如何了!
  
  (本章完)
  
  
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